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日本芝浦機(jī)電shibaura小型擴(kuò)散油真空泵

日本芝浦機(jī)電shibaura小型擴(kuò)散油真空泵

產(chǎn)品型號: ESV系列

所屬分類:

產(chǎn)品時間:2025-05-03

簡要描述:日本芝浦機(jī)電shibaura小型擴(kuò)散油真空泵 ESV系列
在該系列中,為了獲得從超高真空區(qū)域到高/中/真空區(qū)域的穩(wěn)定壓力,在超高真空下將環(huán)形加熱器用于ESV-6及以下,將內(nèi)部加熱型護(hù)套加熱器用于ESV-8及以上。它可以防止由于油的突然沸騰而引起的壓力波動。
ESV系列提高了加熱油的熱效率(與我們公司相比),因此具有運行時間短,排氣量大和臨界背壓高的特點。而且,液壓油的量很小。

詳細(xì)說明:

日本芝浦機(jī)電shibaura小型擴(kuò)散油真空泵 ESV系列

ESV系列的功能

在該系列中,為了獲得從超高真空區(qū)域到高/中/真空區(qū)域的穩(wěn)定壓力,在超高真空下將環(huán)形加熱器用于ESV-6及以下,將內(nèi)部加熱型護(hù)套加熱器用于ESV-8及以上。它可以防止由于油的突然沸騰而引起的壓力波動。
ESV系列提高了加熱油的熱效率(與我們公司相比),因此具有運行時間短,排氣量大和臨界背壓高的特點。而且,液壓油的量很小。

使用例

  • 各種真空爐
  • 各種實驗的排氣裝置
  • 管材制造設(shè)備
  • 各種成膜設(shè)備
  • 電子束焊接
  • 電子顯微鏡

日本芝浦機(jī)電shibaura小型擴(kuò)散油真空泵 ESV系列

ESV系列陣容

模型單位單位ESV-3ESV-4ESV-6
大排氣速度升/秒3805801,200
達(dá)到壓力10 -610 -610 -6
工作壓力范圍10 -6至3.3 x 10 -110 -6至3.3 x 10 -110 -6至0.4
臨界背壓404040
大排氣量帕升/秒93190260
用油 高腰F-4高腰F-4高腰F-4
油量大號0.120.180.3
墊片 

拜頓

拜頓

拜頓

加熱器格式 

云母帶

云母帶

云母帶

電壓,相ACV,相

200、1

200、1

200、1

格式千瓦

0.55

0.75

1.2

進(jìn)氣口 

VG80

VG100

VG150

輔助端口 

VG25

VG25

VG50

冷卻方式 

水冷

水冷

水冷

冷卻水量L / min,在25℃時

1.1

1.5

2

輔助泵 

DRP-360Ⅲ或RP-360Z

DRP-800或RP-800ZⅡ

DRP-800或RP-800ZⅡ

擋板格式 

3C(雪佛龍)

4C(雪佛龍)

6C(雪佛龍)

帶擋板的排氣速度升/秒

165

240

450

擋板冷卻水量L / min,在25℃時

1.1

1.5

2

機(jī)油倒流cm 3 / cm 2分鐘

10 -8

10 -8

10 -8

材料圓筒

不銹

不銹

不銹

噴射

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

大眾公斤

8.5

11

20

     
模型單位單位ESV-8ESV-10ESV-12
大排氣速度升/秒2,0003,0004,500
達(dá)到壓力10 -610 -610 -6
工作壓力范圍10 -6至3.3 x 10 -110 -6至3.3 x 10 -110 -5至0.4
臨界背壓464037
大排氣量帕升/秒400460800
用油 高腰F-4高腰F-4獅子A
油量大號0.61個1個
墊片 

拜頓

拜頓

氯丁橡膠

加熱器格式 

種子

種子

種子

電壓,相ACV,相

200、1

200、3

200、3

格式千瓦

1.6

2.5

3.2

進(jìn)氣口 

VG200

VG250

VG300

輔助端口 

VG50

VG50

VG80

冷卻方式 

水冷

水冷

水冷

冷卻水量L / min,在25℃時

2.5

6

輔助泵 

DRP-1500或RP-1200ZⅡ

DRP-1500或RP-1200ZⅡ

RP-1200ZⅡ×2

擋板格式 

8C(雪佛龍)

10C(雪佛龍)

12C(雪佛龍)

帶擋板的排氣速度升/秒

800

1,200

1,800

擋板冷卻水量L / min,在25℃時

2.5

6

機(jī)油倒流cm 3 / cm 2分鐘

10 -8

10 -8

10 -7

材料圓筒

不銹

不銹

鐵(鍍鎳)

噴射

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

大眾公斤

二十五

45

55



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